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精密微孔陶瓷盘/Precision microporous ceramic disk

产品简介:

定制:来图来样定制

材质:10-20μm气孔微孔陶瓷+经固容处理金属作基体

管控:半导体制程应用材料批次等信息录入系统

交期:15-20天

优点:成熟工艺管控保证平面度0.002,适用于4、6、8、12寸晶圆加工设备